溶射を中心とした各種表面改質の総合メーカー

トーカロ株式会社

実施例 Applied example

アッシング装置 (半導体製造装置部品)

電気特性

必要のなくなったレジストを除去するアッシング装置の部品でウエハを固定する静電チャック(オレンジ色部分)に溶射適用されています。

 

 

 

plasma_アッシング装置部品(半導体製造装置)

関連する技術情報

ページのトップへ