溶射を中心とした各種表面改質の総合メーカー

トーカロ株式会社

実施例 Applied example

スパッタリング装置部品 (半導体製造装置)

耐摩耗 電気特性

ウエハ上に回路材料となる酸化シリコンやアルミニウムの膜を作るスパッタリング装置の部品(オレンジ色部分)であるシールドやウエハを固定するウエハチャックに溶射が適用されています。

 

 

 

aps_スパッタリング装置部品(半導体製造装置)

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