溶射を中心とした各種表面改質の総合メーカー

トーカロ株式会社

実施例 Applied example

ドライエッチング装置部品 (半導体製造装置)

耐摩耗 電気特性

シリコンウエハをドライエッチングする工程で利用されるドライエッチング装置の部品(オレンジ色部分)に溶射が適用されています。耐プラズマエロージョン目的や、ウエハを吸着する静電チャックへの電気特性の付与など様々な目的で溶射が活躍しています。

 

 

ドライエッチング装置部品(半導体製造装置)

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