Technical減圧プラズマ溶射

チャンバー内部の空気を高真空まで排気した後、アルゴンガスを封入し低真空雰囲気で行うプラズマ溶射法を減圧プラズマ溶射法（VPS）と呼びます。この溶射法は先端分野と深い係わりのある高機能皮膜形成には不可欠な溶射法です。

• 材料特性が損なわれないため、設計通りの特性を持った皮膜が得られる。
• チタンなどの活性金属の成膜ができる。
• 溶融粒子の飛行速度が大気中でのプラズマ溶射よりも速く、より緻密で高い結合力をもつ皮膜を得ることができる。